整机型号

S600

整机尺寸

1000mm×900mm×1500m

水槽尺寸

650mm×650mm×200mm;

最大扫描范围

单通道C扫:500mm×320mm×150mm

C扫+T扫:500mm×220mm×150mm

双通道C扫:500mm×600mm×150mm

典型扫描耗时

TBD

最大扫描速度

600mm/s

图像推荐分辨率

1～4000um

厚度检测范围

根据客户工件的材料和厚度选配

定位精度

X/Y≤±1μm,Z≤±10μm

重复定位精度

X/Y≤±,Z≤±

超声采集卡

采样频率100 MHz -

脉冲发生器

频率范围:1-500MHz

超声探头

C扫探头:频率:5 ~ 110MHz,焦距:3 ~ 150mm

T扫探杆:频率:10 ~ 20MHz,焦距: ~

标准块测量误差

测量机械加工的标准块,在软件进行强度校准的前提下,超声检测多次测量误差在±1%.

工件测量误差

选取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一处方重复扫描三次,三次结果的空洞率差值在±1%以内.

厚度测量范围

EProxy材料:

~ 2mm(50MHz探头)

~ (15MHz探头)

Cu材料:

~ (25MHz探头)

~ (15MHz探头)

注:根据客户工件的材料和厚度选配探头

缺陷识别能力

在测量系统厚度能力范围内,被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下,且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的结合缺陷的识别能力为毫米(15MHz、25MHz探头)和毫米(50MHz探头).